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凸塊(Bump)
晶圓凸塊封裝:
1P1M, Pillar on Pad w/ PI
2P2M, Pillar on RDL w/ PI
工藝能力 :
晶圓尺寸 :12 寸
介電材料 :PI(聚酰亞胺)或PBO(聚對苯撐苯并二噁)
凸塊下金屬層:濺射鈦/銅薄膜
重布線寬/線距:≥5 μm/5 μm
銅柱節(jié)距 :≥ 40um
錫-銀凸塊間節(jié)距 :≥150 μm
凸塊材料 :錫-銀或銅柱/錫帽