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晶圓級扇入封裝(WLCSP)
晶圓級芯片封裝:
1M,Ball on UBM on Pad
1P1M,Ball on UBM with PI
2P1M,Ball on RDL without UBM
2P2M,Ball on RDL with UBM
工藝能力:
晶圓尺寸 :12英寸
芯片尺寸 :0.2x0.4 mm - 8x8 mm
晶圓厚度:≥500μm(12 inch)
介電材料:PI(聚酰亞胺)或PBO(聚對苯撐苯并二噁唑)
凸塊下金屬:濺射鈦/銅薄膜
重布線寬/線距 :≥ 5um/5um
球間節(jié)距:0.20mm or 0.50mm